செயல்திறன் மிக்க ஹீலியம் சுத்திகரிப்பு மற்றும் உற்பத்தி கண்காணிப்பு வசதியுடன் கூடிய, மைக்ரோசேனல் வெப்பப் பரிமாற்றி பாகங்களுக்கான தானியங்கி வெற்றிடப் பெட்டி ஹீலியம் கசிவு கண்டறியும் கருவி.
இந்த இயந்திரம், நுண்-அலைவரிசை வெப்பப் பரிமாற்றி கூறுகளில் உள்ள வெற்றிடப் பெட்டி ஹீலியம் நிறை நிறமாலைக் கசிவைக் கண்டறிவதற்கான ஒரு சிறப்பு இயந்திரமாகும். இந்த இயந்திரம் வெற்றிடமாக்கும் அமைப்பு, வெற்றிடப் பெட்டிக் கசிவு கண்டறியும் அமைப்பு, ஹீலியம் சுத்திகரிப்பு அமைப்பு மற்றும் மின்னணு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இந்த இயந்திரம் செயல்திறன் மிக்க ஹீலியம் சுத்திகரிப்புச் செயல்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது; மேலும், உற்பத்தி செய்யப்பட்ட பொருளின் அளவு, சரியான (OK) பொருளின் அளவு மற்றும் தரமற்ற (NG) பொருளின் அளவு ஆகியவற்றைப் பதிவு செய்யும் செயல்பாட்டையும் இது கொண்டுள்ளது.
| ஆய்வு செய்யப்பட்ட பணிகளின் தயாரிப்பு | 4L |
| பணிப்பொருளின் அதிகபட்ச வெளிப்புறப் பரிமாணம் | 770மிமீ * 498 * 35மிமீ |
| வெற்றிட அறையின் அளவு | 1100 (நீளம்) 650 (ஆழம்) 350 (உயரம்) |
| உள்ளடக்க தயாரிப்பு | 250 லிட்டர் |
| வெற்றிடப் பெட்டிகளின் எண்ணிக்கை | 1 |
| ஒரு பெட்டிக்குள் உள்ள வேலைத் துண்டுகளின் எண்ணிக்கை | 2 |
| பணிப்பொருள் நுழைவு மற்றும் வெளியேறும் பெட்டி முறை | கைமுறையாக உள்ளே நுழைந்து வெளியேறும் வெற்றிடப் பெட்டி |
| கதவைத் திறந்து மூடவும் | மடிப்பு மூடி வகை |
| பெரிய கசிவு அழுத்தம் | 4.2MPa |
| ஹீலியம் நிரப்பும் அழுத்தம் | 3MPa தானாகவே சரிசெய்யப்படலாம் |
| கசிவு கண்டறிதலின் துல்லியம் | 2 கிராம் / ஆண்டு (△P=1.5MPa, R22) |
| வெற்றிடப் பெட்டி வெளியேற்ற அழுத்தம் | 30pa |
| ஹீலியம் வாயு மீட்பு விகிதம் | 98% |
| வெற்றிடப் பெட்டி சோதனை நிலையம் (இரட்டைப் பெட்டி) | ஒரு பெட்டிக்கு 100 வினாடிகள் (கையால் ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் நேரம் தவிர). பெட்டியின் இருபுறமும் தலா 2 இயக்கக் குழாய்கள் உள்ளன. |
| கசிவு விகிதக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு (He) | பயனர்கள் தங்களின் சொந்த செயல்முறைத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அளவுருக் குழுக்களைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம் அல்லது காட்சித் திரையில் அவற்றை மாற்றியமைக்கலாம். |
| பாதுகாப்பு பகுதி | 3140(L) × 2500(W) × 2100(H) மிமீ |
| சாதனத்திற்கான மின்சாரம் | மூன்று கட்ட ஏசி 380V± 10% 50Hz |
| நிறுவல் சக்தி | 20 கிலோவாட் |
| அழுத்தப்பட்ட காற்று அழுத்தம் | 0.5-0.6MPa |
| பனிப்புள்ளி | -10℃ |
| அழுத்தப்பட்ட வாயு | 99.8%-க்கும் அதிகமான தூய்மையுள்ள நைட்ரஜன் அல்லது -40℃-க்கும் குறைவான பனிநிலை கொண்ட அழுத்தப்பட்ட காற்று; |
| அழுத்தப்பட்ட வாயு அழுத்தம் | 5.5MPa |